晶圆高低温测试

　　PTXF系列高温循环器主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器（部分设备）、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。控制系统采用PID控制技术，高清显示屏，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

　　产品典型应用
　　1、化工、制药、生物领域双层反应釜的温度控制
　　2、蒸馏结晶净化系统控温
　　3、高压反应釜温度控制
　　4、半导体设备冷却
　　5、搅拌罐温度控制
　　6、结晶系统控温

　　设备特点
　　1、全密闭系统：采用全密闭式系统设计，整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔，导热油不会直接与空气接触，延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性，膨胀油箱始终保持在常温状态，高温时无油雾产生。
　　2、高效换热系统：系统采用管道式加热冷却，参与循环的液体非常少，制冷采用板式换热器，加热采用管道式法兰加热器，整个系统的容积（板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积）
　　3、控制结果重复性：基于高级动态控制系统，同时采用进口铂电阻温度传感器，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。
　　4、产品外观：外观设计吸取国外进口产品的设计理念，采用大口径石英玻璃液位计，液位计与操作屏放在同一侧，观察方便，风格简约时尚，比列协调，专有的色彩搭配。
　　5、超高温降温技术：采用超高温降温技术，可以满足在350℃高温直接通入冷却水实现快速降温。
　　6、质量保障：所有的关键部件均选用进口品牌，确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验，确保设备到客户现场不会出现任何问题。