低温晶圆测试

设备简介

DLS系列低温冷水机（晶圆测试温控系统）主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清液晶屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

 设备特点

全密闭系统：采用全密闭式系统设计，整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔，载冷介质不会直接与空气接触，延长了介质使用寿命同时确保系统运行的稳定性。

高效换热系统：制冷采用板式换热器，换热效率高、结构紧凑。

控制结果重复性：基于高级动态控制系统，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。

产品外观：外观设计吸取国外进口产品的设计理念，采用大口径石英玻璃液位计，液位计与操作屏放在同一侧，观察方便，风格简约时尚，比列协调，专有的色彩搭配。

质量保障：所有的关键部件均选用进口品牌，确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验，确保设备到客户现场不会出现任何问题。